• 首页
  • 关于我们
    • 全球客户
  • 服务
  • 产品
    • Dry Adsorbent Scrubbers>
      • Mojave—Single
      • Unisafe
      • Uniscrub Canisters
    • Wet Absortion Scrubbers>
      • Cascade-XL
      • Cascade-XLM
      • LVGS
      • Monsoon
    • Thermal / Wet>
      • Alpine-S
      • Hercules
  • 新闻
  • 联系我们
  • 寻求报价
产品 > > Alpine-S
Picture
在CVD及ETCH工艺应用中,Alpine-S拥有世界一流的废气处理效率(DRE)以及远低于同类产品的保养维护花费

Alpine-S


HTVS-Alpine综合了三种知名处理科技:热氧化分解、化学吸附、化学吸收。为POU处理设备同领域内第一!

专业的设计可完美地解决您的废气排放问题。强力的、可靠的、全面的处理能力确保工艺设备中的气体被彻底清除。

起初,在将气体加热至1200的过程中,加热氧化反应同时进行。稍后,冷却了的污染物从气流中分离出来。随着气流流至填充式吸附柱,逆流式水流将有害气流吸收。最后,气流在流过填满吸附剂的吸附罐时,多孔的吸附剂将所有残留的有毒气体全部处理干净。

特点:

全面的处理能力:两个加热器、两个涡流发生器、两个填充式水洗塔,Uniscrub吸附罐

可处理易燃、易爆和酸性气体

生产中可连续运行

智能安全设计:保证操作的安全性和可控性

声光报警系统

软警报和硬警报帮助判别警报的严重性

触摸屏:系统操作简单

全方位的温度监测及控制

重大警报自动停机

尺寸:

34.12" L x 40.12" W x 54.12" H
(86.7 cm x 101.9 cm x 137.5 cm)
Weight: 1,350 lbs. (614 kg)

Etch/CVD/PFC 排气:

<350LPLM

热、湿、催化剂废气处理设备:

1、先进的电子加热设备,极大程度降低能源消耗

2、涡流发生器消除堵塞风险,降低PM频率

3、研发的核心催化分解装置,大大增加了气体分解效率

4、独特的设计:低温、低耗;循环水设计,耗水量仅为同类产品的1/2

5、实测数据:酸性气体DRE>99%,PFCs DRE>95%

6、根据客户对几乎所有工艺的需求:ETCH, CVD,P ECVD, LPCVD, MOCVD, Solar, Thin Film, etc.

尺寸:47 "L x37" Wx 75.5 "H (120cm x 90cm x 190cm) 

Datasheet
File Size: 1173 kb
File Type: pdf
Download File


请求报价

公司

首页
关于我们
产品

支持

联系我们
服务
寻求报价
沪ICP备15053391号-1|? COPYRIGHT 2015-2021 SIT. All Rights Reserved