HTVS-Alpine综合了三种知名处理科技：热氧化分解、化学吸附、化学吸收。为POU处理设备同领域内第一！

专业的设计可完美地解决您的废气排放问题。强力的、可靠的、全面的处理能力确保工艺设备中的气体被彻底清除。

起初，在将气体加热至1200的过程中，加热氧化反应同时进行。稍后，冷却了的污染物从气流中分离出来。随着气流流至填充式吸附柱，逆流式水流将有害气流吸收。最后，气流在流过填满吸附剂的吸附罐时，多孔的吸附剂将所有残留的有毒气体全部处理干净。

特点：

全面的处理能力：两个加热器、两个涡流发生器、两个填充式水洗塔，Uniscrub吸附罐

可处理易燃、易爆和酸性气体

生产中可连续运行

智能安全设计：保证操作的安全性和可控性

声光报警系统

软警报和硬警报帮助判别警报的严重性

触摸屏：系统操作简单

全方位的温度监测及控制

重大警报自动停机

尺寸：

34.12" L x 40.12" W x 54.12" H
(86.7 cm x 101.9 cm x 137.5 cm)
Weight: 1,350 lbs. (614 kg)

Etch/CVD/PFC 排气：

<350LPLM

热、湿、催化剂废气处理设备：

1、先进的电子加热设备，极大程度降低能源消耗

2、涡流发生器消除堵塞风险，降低PM频率

3、研发的核心催化分解装置，大大增加了气体分解效率

4、独特的设计：低温、低耗；循环水设计，耗水量仅为同类产品的1/2

5、实测数据：酸性气体DRE>99%,PFCs DRE>95%

6、根据客户对几乎所有工艺的需求：ETCH, CVD,P ECVD, LPCVD, MOCVD, Solar, Thin Film, etc.

尺寸：47 "L x37" Wx 75.5 "H (120cm x 90cm x 190cm)