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在CVD及ETCH工艺应用中,Alpine-S拥有世界一流的废气处理效率(DRE)以及远低于同类产品的保养维护花费 |
Alpine-SHTVS-Alpine综合了三种知名处理科技:热氧化分解、化学吸附、化学吸收。为POU处理设备同领域内第一! 专业的设计可完美地解决您的废气排放问题。强力的、可靠的、全面的处理能力确保工艺设备中的气体被彻底清除。
起初,在将气体加热至1200 特点: 全面的处理能力:两个加热器、两个涡流发生器、两个填充式水洗塔,Uniscrub吸附罐 可处理易燃、易爆和酸性气体 生产中可连续运行 智能安全设计:保证操作的安全性和可控性 声光报警系统 软警报和硬警报帮助判别警报的严重性 触摸屏:系统操作简单 全方位的温度监测及控制 重大警报自动停机 尺寸:
34.12"
L x 40.12" W x 54.12" H Etch/CVD/PFC 排气: <350LPLM 热、湿、催化剂废气处理设备: 1、先进的电子加热设备,极大程度降低能源消耗 2、涡流发生器消除堵塞风险,降低PM频率 3、研发的核心催化分解装置,大大增加了气体分解效率 4、独特的设计:低温、低耗;循环水设计,耗水量仅为同类产品的1/2 5、实测数据:酸性气体DRE>99%,PFCs DRE>95% 6、根据客户对几乎所有工艺的需求:ETCH, CVD,P ECVD, LPCVD, MOCVD, Solar, Thin Film, etc. 尺寸:47 "L x37" Wx 75.5 "H (120cm x 90cm x 190cm) ![]()
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