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产品 > > Hercules
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Inova的高温涡流式尾气处理设备—Hercules,电加热式尾气处理设备,主要用于易燃、易爆及酸性气体的处理

Hercules


POU废气处理设备,安全减排、节约成本。通过独立研发的、可靠的科技更加高效地利用水、电及其他消耗以达到不影响表现性能的同时降低使用成本,加热器及涡流发生器确保优秀的处理性能,大尺寸的加热器可同时接数个进气口以针对多台设备及不同的气体。

特点:

可处理易燃、易爆及酸性气体

生产中可连续运行

智能安全设计:保证操作的安全性和可控性

声光报警系统

软警报和硬警报帮助判别警报的严重性

主要部件:

陶瓷加热器-热氧化器:氧化分解易燃易爆气体

涡流发生器:吸收酸性气体、冷却气流、捕捉水流中的颗粒

水槽:进一步去除腐蚀性、酸性气体,分离出水流中颗粒

水洗柱:逆流式水洗,吸收气流中残留的酸性气体

Etch/CVD/NF3 处理:

<850LPM

热湿式废气处理设备:

1、  强大的处理能力:最大废气处理量可达1000LPM

2、  电加热:无需额外燃料,降低能源消耗,减少事故发生的概率

3、  涡流发生器:防止堵塞,确保长期的稳定性

4、  循环水设计:水消耗仅为同类产品1/2

5、  可应用在多种不同的工艺:CVD,MOCVD,离子注入,LCD,太阳能光伏及其它工艺

尺寸:41.7 "L x37.7" Wx 77.6 "H (106cm x 95.8cm x 197cm) 

重量:1650lbs(750kg)

LVGS-液态前躯体废气处理设备

一种高效的POU废气处理设备。

Datasheet
File Size: 1173 kb
File Type: pdf
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