POU废气处理设备，安全减排、节约成本。通过独立研发的、可靠的科技更加高效地利用水、电及其他消耗以达到不影响表现性能的同时降低使用成本，加热器及涡流发生器确保优秀的处理性能，大尺寸的加热器可同时接数个进气口以针对多台设备及不同的气体。

特点：

可处理易燃、易爆及酸性气体

生产中可连续运行

智能安全设计：保证操作的安全性和可控性

声光报警系统

软警报和硬警报帮助判别警报的严重性

主要部件：

陶瓷加热器-热氧化器：氧化分解易燃易爆气体

涡流发生器：吸收酸性气体、冷却气流、捕捉水流中的颗粒

水槽：进一步去除腐蚀性、酸性气体，分离出水流中颗粒

水洗柱：逆流式水洗，吸收气流中残留的酸性气体

Etch/CVD/NF3 处理：

<850LPM

热湿式废气处理设备：

1、  强大的处理能力：最大废气处理量可达1000LPM

2、  电加热：无需额外燃料，降低能源消耗，减少事故发生的概率

3、  涡流发生器：防止堵塞，确保长期的稳定性

4、  循环水设计：水消耗仅为同类产品1/2

5、  可应用在多种不同的工艺：CVD,MOCVD,离子注入,LCD,太阳能光伏及其它工艺

尺寸：41.7 "L x37.7" Wx 77.6 "H (106cm x 95.8cm x 197cm) 

重量：1650lbs（750kg）

LVGS-液态前躯体废气处理设备

一种高效的POU废气处理设备。