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LVGS


LVGS-水洗式废物处理设备

高效的PoU水洗塔—通过特殊的填充式金属柱,LVGS能轻易地去除有毒气体。配有操作建简易的触摸式显示屏。此系统适用于不需要热氧化处理或热氧化处理不能满足的环境。拥有更低的能源消耗。


特点

填充式水洗柱—高效去除废气

运用化学吸附式反应永久去除气流中的有毒成分

可根据具体工艺定制用水量及化学品消耗量

触摸屏状态栏—系统实时状态监控

紧急自动停机

声光报警系统,紧急制动按钮

易维护


Epi,BTBAS,etc:<100CFM

液态前驱气体(DCS,TCS)


湿式废气处理设备

1、  安全使用原则符合Semi2000 & CE标准

2、  处理能力高达100CFM

3、  处理废气和液态前躯体使用的是循环水,水消耗仅为同类产品的1/10/,大大降低了初始投入与运行成本


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