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LVGSLVGS-水洗式废物处理设备 高效的PoU水洗塔—通过特殊的填充式金属柱,LVGS能轻易地去除有毒气体。配有操作建简易的触摸式显示屏。此系统适用于不需要热氧化处理或热氧化处理不能满足的环境。拥有更低的能源消耗。
特点 填充式水洗柱—高效去除废气 运用化学吸附式反应永久去除气流中的有毒成分 可根据具体工艺定制用水量及化学品消耗量 触摸屏状态栏—系统实时状态监控 紧急自动停机 声光报警系统,紧急制动按钮 易维护
Epi,BTBAS,etc:<100CFM 液态前驱气体(DCS,TCS)
湿式废气处理设备 1、 安全使用原则符合Semi2000 & CE标准 2、 处理能力高达100CFM 3、 处理废气和液态前躯体使用的是循环水,水消耗仅为同类产品的1/10/,大大降低了初始投入与运行成本 |