IGC的干式气体处理设备—Mojave可将有毒、腐蚀性气体副产物处理至远低于TLV标准，体积小，能力强。革新性控制科技加上全面的安全设备，Mojave仍是目前市场上高效的PoU干式处理设备之一。

Mojave使用化学吸附方式，极多孔的媒介吸引和吸附目标气体，污染物在媒介内发生化学反应，从有毒的气体变为固体。

特点

被动式系统：不产生液体和额外的热量

简单却又复杂：废气被真空泵吸至填充直接的吸附罐内并发生化学反应，从而将气流中的有害废气去除

安全：系统拥有声光报警系统，毒气实时检测器，三位温度传感器，吸附剂将耗尽警告报警，系统进入严重警报时自动停机等安全功能，保证系统安全可靠

运行参数

最大工艺废气流量：100LPM

氮气输入压力：80-90psi

CDA流量：1SFM

厂房通风负压：140cfm

电源：120V,60HZ,10A

下面是Mojave分解的部分有毒化学品列表：

PH3, AsH3, NH3, SiH4, B2H6, Cl2, F2, BF3, NF3, ClF3, Br2, BCl3, HCl, HBr, HF, SF6, NOx, Ge, TEOS, TMAl, etc.

需要任何服务请联系IGC

吸附罐<140L

流量<350LPM

干式废气处理设备：

1、  单吸附罐式设计结构

2、  最大气体处理流量200LPM

3、  智能警报系统控制和人机交互控制

4、  独家研发的吸附反应，吸附罐生命周期更长

5、  所有的被动式吸附反正在紧急情况下仍可进行

6、  适用于多种工艺：etching，MOCVD,CVD,离子扩散

尺寸

28.0 "L x 27.5" Wx 60.25 "H 
(71.1cm x 69.8cm x 153.0cm) 
重量: 850 lbs (386 kgs).